常压微波等离子体技术

MKS AX8560-7100

AX8560 SEMOZON®臭氧输送子系统是一个完全集成的臭氧发生器，具有内部臭氧监测和控制功能。AX8560集成了独立操作所需的所有仪表和调节器。

常压双微波等离子体设备，使用简单，功能强大，满足各类测试，实验，开发新材料

微波等离子体接口可用于模拟波加热放电，当电子在渗透等离子体时可以从电磁波获得足够的能量来维持这种放电。根据传播模式采用 TE 模式（面外电场）还是 TM 模式（面内电场），微波等离子体的物理场区别相当大。在这两种情况下，电磁波都无法穿透电子密度超过临界电子密度（在 2.45 GHz 下，对于氩气约为 7.6x1016 1/m3）的等离子体区域。微波等离子体的压力范围非常广。对于电子回旋共振 (ECR) 等离子体，压力大约为 1 帕量级或更低。对于非 ECR

送完为止#五福#